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STHGEM300

SECS/GEM-Softwarelösung für 300-mm-Werkzeuge

Lösungsüberblick

Additional Resources

Gerätehersteller verwenden das STHGEM300 SDK zur Implementierung von SEMI GEM300-konformen Standards – E39, E40, E87, E90 und E94 – die für 300-mm-Waferverarbeitungsgeräte erforderlich sind. 

Halbleiterfabriken verlangen, dass alle 300-mm-Werkzeuge diese Industriestandards sowie fabrikspezifische Szenarien erfüllen. 

STHGEM300 basiert auf unserem Flaggschiffprodukt SecsToHost.Net, einem Software-SDK zur Implementierung von SEMI SECS/GEM E4, E5, E30 und E37. Die .NET-Bibliotheken können einfach in Ihre Gerätesteuerungssoftware integriert werden. 

gem300-equipment-solution.png
architecture
SECSGEM Manual
  • SEMI E4 - RS232

  • SEMI E37 - HSMS

  • SEMI E5 - SECS-II-Nachrichtenspezifikation

  • SEMI E30 - EDELSTEIN

  • SEMI E39 - Objektdienste

  • SEMI E87 - Spediteurverwaltung

  • SEMI E90 - Substratverfolgung

  • SEMI E40 - Auftragsverwaltung verarbeiten

  • SEMI E94 - Auftragsverwaltung steuern

  • SEMI E116 – Nachverfolgung der Geräteleistung (zukünftige Version)

Unterstützte SEMI-Standards

Features and Benefits

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api.png

Ease of
Integration 

Navigate GEM300 complex scenarios effortlessly with STHGEM300's intelligent API calls, minimizing development costs and efforts for equipment suppliers.

automated.png

Simplified
GEM300 Scenarios

Automatic message processing and manages interdependencies between GEM300 standards. 

semilogo.jpg

Comply with SEMATECH and SELETE Guideline

 Ensure compatibility with any factory host automation specification covering SECS/GEM, process management, carrier management, substrate tracking, control job management and equipment performance.

cross-platform.jpg

Cross Platform
Support

 Ensures compatibility across various platforms (Windows and Linux) with .NET Core.

word.png

Automatic GEM300 Documentation

Time saving with the automatic SEMI documentation generation with Model Builder.

Kontaktieren Sie uns - Fragen Sie uns

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